氮化硅陶瓷的热稳定性能优越，且抗氧化的能力也非常强，更主要的是其可以精密制作，尺寸精度可以掌握得很好，这些都是氮化硅具备的优良性能。这是因为氮化硅属于高强度化合物，而且空气中还能形成氧化物的保护膜，因此具备较好的化学稳定性能，在1200℃以下，基本不会出现被氧化的情况，而在1200℃-1600℃之间，表面能产生较强的保护膜，能有效的预防其出现氧化的情况。
   氮化硅材料可以使用在高温环境下的工程部件中，或者是在冶金工业中，作为耐火材料，在化工行业作为抗腐蚀部件和密封部件等，可谓应用广泛。因为氮化硅和碳化硅、二氧化钍、氧化铝和碳化硼等可以形成较强的结合，因此可以作为复合材料来使用，并进行不同的配比和改性。而且还能将氮化硅直接使用在太阳能的电池中，利用PECVD的方式进行镀氧化硅膜之后，不仅可以降低反射膜的射光反射，而且氮化硅的薄膜在整个沉淀的过程中，反应物中的氢原子能够进入氮化硅的薄膜，或者是硅片中，这样可以起到一定的钝化缺陷作用。